LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-7200D

LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-7200D

質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可*地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節(jié)控制閥的開度，以此進行流量的控制。

質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的，Ru、Rd與 R 保持一定的溫度，當氣體流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產生電力對Ru及Rd進行加溫。

氣體隔膜隔離閩體及驅動裝置，極大地減小閉死容積。這些特殊設計，可以增強氣體的流通，降低污染物影響，使設備具備高澄換性，保證更長的使用壽命，也更適合于液化氣體等優(yōu)勢。