任何方向類型 TG-F 系列
使用油脂潤滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵?？箾_擊設計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設備或運動部件上。產品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。
潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面
產品陣容
TG450F
■ 任何方向
■ 緊湊的尺寸
■ 節(jié)能
■ 快速啟動
■ 帶排氣口快速關閉
■ 用于涌入空氣的耐用結構
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 通過安全標準NRTL/SEMI-S2/CE
應用
■ 半導體生產
■ 電子槍排氣、電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理、表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、檢測設備
■ 燈具生產、光學元件生產
■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研究與開發(fā)
*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。
| 入口法蘭 | VG150 | |
| 體積流量 | N2（長/秒） | 450 |
| N2（帶防護屏） （長/秒） | 430 | |
| H2（長/秒） | 240 | |
| *壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 基礎壓力 | （賓夕法尼亞州） （托爾） | <1×10-6 <7.5×10-9 |
| *吞吐量※1 | （SCCM） | 500 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 2-2.5 |
| 關機時間 | （分鐘） | 5-6.5 |
| *背壓 | （賓夕法尼亞州/托爾） | 260/2 |
| 的前級 真空泵 | （升/分鐘） | ≧80 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF （公斤） | 7/10 |
| 控制器 | TC353型 | |
*1 ： 使用160L/min的前級真空泵時。
[使用環(huán)境溫度]
確保您達到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
一些使用氣體會使?jié)櫥蛢炔苛慵冑|。請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。
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