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正規(guī)電子廠房潔凈檢測(cè)必做項(xiàng)目 流程--安衡檢測(cè)
必須做項(xiàng)目:車間主要功能間空氣細(xì)菌數(shù)、工作臺(tái)表面、機(jī)器表面、人手表面、紫外強(qiáng)度電子廠車間:(電子廠潔凈度檢測(cè)、電子廠無(wú)塵車間檢測(cè)、無(wú)塵車間潔凈度檢測(cè))
應(yīng)當(dāng)按以下要求對(duì)潔凈區(qū)的懸浮粒子進(jìn)行動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè):(一)根據(jù)潔凈度級(jí)別和空氣凈化系統(tǒng)確認(rèn)的結(jié)果及風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估,確定取樣點(diǎn)的位置并進(jìn)行日常動(dòng)態(tài)監(jiān)控。(二)在關(guān)鍵操作的全過(guò)程中,包括設(shè)備組裝操作,應(yīng)當(dāng)對(duì)A級(jí)潔凈區(qū)進(jìn)行懸浮粒子監(jiān)測(cè)。生產(chǎn)過(guò)程中的污染(如活生物、放射危害)可能損壞塵埃粒子計(jì)數(shù)器時(shí),當(dāng)在設(shè)備調(diào)試操作和模擬操作期間進(jìn)行測(cè)試。A級(jí)潔凈區(qū)監(jiān)測(cè)的頻率及取樣量,應(yīng)能及時(shí)發(fā)現(xiàn)所有人為干預(yù)、偶發(fā)事件及任何系統(tǒng)的損壞。灌裝或分裝時(shí),由于產(chǎn)品本身產(chǎn)生粒子或液滴,允許灌裝點(diǎn)≥5.0μm的懸浮粒子出現(xiàn)不符合標(biāo)準(zhǔn)的情況。(三)在B級(jí)潔凈區(qū)可采用與A級(jí)潔凈區(qū)相似的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)??筛鶕?jù)B級(jí)潔凈區(qū)對(duì)相鄰A級(jí)潔凈區(qū)的影響程度,調(diào)整采樣頻率和采樣量。(四)懸浮粒子的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)應(yīng)當(dāng)考慮采樣管的長(zhǎng)度和彎管的半徑對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響。
電子廠房潔凈檢測(cè)必做項(xiàng)目 常規(guī)檢測(cè)項(xiàng)目:塵埃粒子、溫度、相對(duì)濕度、壓差、換氣次數(shù)、照度、噪聲;特殊項(xiàng)目:高效過(guò)濾器檢漏、自凈時(shí)間、微振、靜電、氣密性、氣流流型GMP車間(藥廠):(GMP車間潔凈度驗(yàn)收、藥廠凈化車間潔凈度檢測(cè))
3、關(guān)于等速采樣:等速采樣是指在檢測(cè)過(guò)程中,粒子計(jì)數(shù)器的采樣管入口方向與被采樣單向氣流的方向一致,進(jìn)入采樣管入口的空氣平均流速與該位置單向氣流的平均速度。
空氣懸浮粒子:1.任何潔凈區(qū)內(nèi)取樣點(diǎn)應(yīng)不少于兩個(gè);2.除潔凈區(qū)的設(shè)備限制外,取樣點(diǎn)應(yīng)在整個(gè)潔凈區(qū)均勻布置;3.在一個(gè)區(qū)域內(nèi)應(yīng)少取樣五次,每個(gè)取樣點(diǎn)的取樣次數(shù)可多于一次,不同取樣點(diǎn)的取樣次數(shù)可以不同;為了確定A級(jí)區(qū)的級(jí)別,每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量不得少于1m3。4.取樣點(diǎn)一般布置在距地面0.8~1.5m之間或操作臺(tái)的高度;5.盡量避免在回風(fēng)口附近取樣,而且測(cè)試人員應(yīng)站在取樣口的下風(fēng)側(cè)。
目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開(kāi)放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。
安衡檢測(cè)技術(shù)服務(wù)有限公司經(jīng)營(yíng)范圍包括生物安全柜、潔凈工作臺(tái)、生物安全實(shí)驗(yàn)室、潔凈室、醫(yī)院手術(shù)室、中央空調(diào)的環(huán)境檢測(cè)服務(wù)及實(shí)驗(yàn)儀器的技術(shù)服務(wù);清潔服務(wù);消毒服務(wù);室內(nèi)環(huán)境檢測(cè);大氣環(huán)境污染防治服務(wù)sxanhengjc
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