真空泵是一種從設備或容器中抽出空氣以產生真空的裝置。真空泵由泵體、排氣口和進氣口組成。目前已開發(fā)出多種用于在泵中產生真空的機制。

真空度有低、中、高等多種等級，需要根據(jù)所需的真空度、達到真空所需的時間、使用的溫度環(huán)境等來選擇合適的真空泵。根據(jù)是否使用油，真空泵分為干泵和濕泵。

真空泵應用
真空泵廣泛應用于醫(yī)療設備和制造工藝、食品工廠、電氣設備以及半導體制造工藝。此外，真空泵還被用作醫(yī)療設備和理化設備等需要真空的設備的輔助設備。目前已開發(fā)出10多種不同的真空泵原理，需要了解每種原理的特性才能選擇合適的真空泵。

真空泵的主要用途有：

牙科治療用唾液抽吸裝置
在保溫瓶中制造真空
在半導體工藝中使用等離子體時創(chuàng)建真空環(huán)境
粘合食品包裝材料時
實驗室設備的真空源（蒸發(fā)器、過濾器、真空干燥器、干燥器等）
工廠生產設備用大容量真空泵
真空泵原理
真空泵根據(jù)其工作原理進行分類，下面介紹*代表性的泵的工作原理。

1.油旋片真空泵
油回轉真空泵是利用旋轉的轉子將吸入的空氣排出的真空泵，是使用油來提高氣密性的濕式泵的稱。也被稱為旋轉真空泵。

泵的種類繁多，包括旋片式油回轉真空泵、凸輪式油回轉真空泵和擺動活塞式油回轉真空泵。連接轉子、凸輪和活塞的擺動部件的形狀以及與空氣接觸的部件各不相同，但所有類型的泵都是通過轉子旋轉排出空氣來產生真空的。

由于使用油，油的蒸汽壓是真空的極限，但油可實現(xiàn)穩(wěn)定的性能，并且使用小型裝置即可輕松實現(xiàn)中等真空。

2.油擴散真空泵
油擴散真空泵由鍋爐、噴嘴和冷凝器組成。油在鍋爐中被加熱成蒸汽，然后以音速通過噴嘴噴射，將泵內的空氣分子從排氣口排出。蒸發(fā)后的油在冷凝器中變成液態(tài)油并被重新利用。

3.旋片式干式真空泵
旋片式干式真空泵是一種利用旋轉的轉子和葉片從吸氣口吸入空氣，然后將其排出的真空泵，不使用油。由于無法防止空氣回流，因此只能達到低真空狀態(tài)，但可以實現(xiàn)較高的排氣速度。

4.擺動活塞式干式真空泵
擺動活塞式干式真空泵是利用與偏心旋轉軸連接的活塞將空氣推出來排氣的真空泵。由于其結構上的原因，無法防止空氣回流，因此僅限于低真空狀態(tài)，但維護方便。

5.隔膜式干式真空泵
隔膜泵（膜片泵）是一種利用橡膠、樹脂或金屬等材料制成的隔膜的往復運動與止回閥相結合來輸送流體的泵。用作真空泵時，由于使用了止回閥，因此無需使用油來保證氣密性，因此可以作為干式泵使用。泵通過往復運動，反復從需要形成真空的一側吸入空氣并將其排放到大氣中，從而形成真空。

6.渦旋式干式真空泵
渦旋式干式真空泵是一種利用渦卷狀定子和轉子的運動來排氣的干式真空泵。渦卷運動將空氣吸入中心，再從中心排出。

7.渦輪分子泵
渦輪分子泵是一種渦輪形狀的干式真空泵。它通過使渦輪葉片以接近分子熱運動的高速旋轉來進行真空排氣，并根據(jù)渦輪葉片的傾斜度使分子運動產生偏向。為了使渦輪葉片能夠高速旋轉，必須在一定的真空度下使用，因此經常與其他真空泵組合使用。

如何選擇真空泵
選擇真空泵時，要根據(jù)達到的真空度、抽氣時間、抽氣量等來確定泵的類型，真空度有低、中、高之分，每種真空度都有適合的真空泵。

1. 低真空真空泵
對于低真空，有隔膜干泵、擺動活塞干泵和旋片干泵。隔膜干泵沒有旋片干泵那樣的滑動部件，因此不會因攪拌而產生細小顆粒，可以獲得清潔的真空。擺動活塞干泵結構簡單，易于維護。旋片干泵可以獲得高排氣速度。

2.中型真空泵
對于中等真空應用，有渦旋泵和油回轉泵兩種類型。許多渦旋泵通過兩級壓縮來確保效率，并且振動和噪音較低。顧名思義，油回轉泵效率高，并且由于采用油潤滑和密封，具有良好的真空穩(wěn)定性。

3.高真空泵
在高真空用途中，有利用兩個旋轉轉子進行吸入和壓縮的羅茨式（機械增壓）真空泵、由多臺羅茨泵組合而成的多級羅茨真空泵，以及結構簡單、排氣速度快的油擴散真空泵。此外，還有渦輪分子泵和低溫泵等用于高真空用途的泵。

由于真空泵的種類繁多，因此了解它們的特性和特點并選擇適合您應用的真空泵非常重要。

真空泵的使用方法
在使用真空的設備中，會根據(jù)達到的真空度和抽真空時間來選擇真空泵。但是，由于真空度越高，抽真空速度越慢，而且有些高真空泵無法在大氣壓下使用，因此有時會組合使用真空泵，而不是單獨使用。

例如，通過切換“排氣速度快的低真空泵”和“高真空泵”并一起使用或同時使用，即使在高真空下也能達到一定的排氣速度。

具體的例子是先用油旋轉泵將真空抽至低真空范圍（粗抽），然后再切換到機械增壓泵將真空抽至高真空（*終抽真空）的方法。

此外，可將兩種真空泵連接在一起，通過中/低真空泵在大氣壓力下使用高真空泵。