您現(xiàn)在的位置：首頁(yè) > 資料管理 > 基本常識(shí)
ULVAC愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 UTM300A-MS
ULVAC愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 UTM300A-MS
渦輪分子泵是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體制造和研究設(shè)施。 該泵通過(guò)高速移動(dòng)分子來(lái)有效地產(chǎn)生真空。
渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和固定定子組成。 轉(zhuǎn)子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產(chǎn)生真空。 這個(gè)過(guò)程利用分子的動(dòng)能并且非常高效。
與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準(zhǔn)備真空環(huán)境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環(huán)境，非常適合半導(dǎo)體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應(yīng)用于各種行業(yè)和研究領(lǐng)域。
這是一種渦輪分子泵，帶有一個(gè)使用磁浮軸承的獨(dú)立控制器。 我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號(hào)陣容。 控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
長(zhǎng)處
泵體和控制器部分分離，
可在控制器部分監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)，并兼容各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
自由安裝方向 由于對(duì)
安裝方向沒(méi)有限制，因此擴(kuò)大了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
抽速 300L/s ~ 4000L/s 級(jí)
可在泵速的 25 ~ * 范圍內(nèi)改變變
速，并可調(diào)節(jié)腔室壓力。
高耐用性和安全性 它已通過(guò)各種安全確認(rèn)測(cè)試，例如
大氣進(jìn)入測(cè)試和著陸測(cè)試。
用
各種設(shè)備的
真空主排氣系統(tǒng) - 半導(dǎo)體制造設(shè)備
- 氣相沉積設(shè)備
- 濺射設(shè)備
- 分析設(shè)備，實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等
- 研發(fā)設(shè)施
輕工藝主排氣系統(tǒng)，無(wú)副反應(yīng)產(chǎn)物
其他高真空排氣應(yīng)用
| 型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A 質(zhì)譜儀 | ||||||
| 進(jìn)氣口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 排氣口 | KF25 系列 | 肯氟烴40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水冷式 | 風(fēng)冷 | 水冷式 | 風(fēng)冷 | 水冷式 | 風(fēng)冷 | 水冷式 | 風(fēng)冷 | ||
| 極限壓力 *1 | 帕 | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 抽速 *2 | 注 2 | L/s | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 氦氣 | L/s | ー | ||||||||
| 他 | L/s | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 系列 | L/s | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 壓縮比 | 注 2 | 1×109 | ||||||||
| 他 | 8×104 | |||||||||
| H2 系列 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| *入口壓力 *3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | |||||
| *排氣口壓力 *3 | 帕 | 665 | 40 | 665 | 40 | |||||
| 轉(zhuǎn)速 | 轉(zhuǎn)速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 5 分鐘內(nèi) | |||||||||
| 安裝方向 | 可全向安裝 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー |
| 水壓 | MPaG | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | |
| 噪聲 | 分貝（A） | 60 | ||||||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 的輔助泵 | 200L/min 或更高 | 500L/min 或更高 | ||||||||
| 控制器 | 配置 | 分開(kāi) | ||||||||
| 輸入功率 | 單相 AC200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| *功率要求 | 千伏安 | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 變速功能 | 運(yùn)行速度可在泵轉(zhuǎn)速的 25% ~ * 之間變化（設(shè)置以 0.1% 為增量） | |||||||||
| 外部控制 | 觸點(diǎn)輸入和輸出 | |||||||||
| RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 8 | ||||||||
在手機(jī)上查看
京公網(wǎng)安備 11010802023672號(hào)
溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。