SATOVAC佐藤 隔膜式干式真空泵 MZ2CNT

SATOVAC佐藤 隔膜式干式真空泵 MZ2CNT

真空泵技術(shù)正向著更高效、更智能、更環(huán)保的方向發(fā)展。在選擇真空泵時(shí)，需要綜合考慮工作壓力范圍、抽氣速率、氣體種類、運(yùn)行環(huán)境等因素。未來隨著新材料、新工藝的應(yīng)用，真空泵將在更多高科技領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用。

長(zhǎng)處

化學(xué)相容性

真空室中使用了基于特氟龍的部件。 它對(duì)吸入有機(jī)溶劑型氣體和腐蝕性氣體表現(xiàn)出*的耐腐蝕性。

高真空

極限壓力為 200 Pa （MD） 和 700 Pa （MZ），這是隔膜型的高水平。 還可以處理需要高真空容量的高沸點(diǎn)溶劑。

清潔加工

由于它是不使用油的干式，因此不會(huì)發(fā)生油回流到進(jìn)氣側(cè)的情況，并且室內(nèi)環(huán)境不會(huì)受到排氣側(cè)油霧的污染。

易于維護(hù)

由于不使用油，因此易于維護(hù)，并且維護(hù)簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。

1. 基本工作原理

通過容積變化（機(jī)械泵）

利用氣體擴(kuò)散（擴(kuò)散泵）

基于氣體吸附（吸附泵）

通過離子牽引（離子泵）

2. 主要技術(shù)參數(shù)

極限真空度（Pa）

抽氣速率（m3/h或L/s）

啟動(dòng)壓力（Pa）

*排氣壓力（Pa）

SATOVAC創(chuàng)立于20世紀(jì)中葉，依托日本精密制造傳統(tǒng)，經(jīng)過數(shù)十年技術(shù)積累，已發(fā)展成為真空技術(shù)領(lǐng)域的*企業(yè)。傳承了日本制造業(yè)"匠人精神"，堅(jiān)持精益求精的產(chǎn)品理念，每款產(chǎn)品都經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量控制和性能測(cè)試。
核心產(chǎn)品與技術(shù)優(yōu)勢(shì)
SATOVAC主要生產(chǎn)旋片式真空泵、干式真空泵、羅茨真空泵等系列產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏、醫(yī)療設(shè)備等高科技領(lǐng)域。其產(chǎn)品以"高真空度"、"低噪音"和"長(zhǎng)壽命"三大特點(diǎn)著稱，采用特殊材料和精密加工工藝，確保在嚴(yán)苛工作環(huán)境下仍能保持穩(wěn)定性能。