山東省濟(jì)南市電子廠房空氣潔凈度檢測(cè)中心--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司   電子車間凈化工程-對(duì)半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、光學(xué)儀器、PCB、LEDLCD、SMT等電子產(chǎn)品工藝要求，電子車間凈化級(jí)別從 10級(jí)，100級(jí)，1000級(jí)，萬(wàn)級(jí)。凈化的程度也直接影響了電子產(chǎn)品的質(zhì)量。

電子制造業(yè)廠潔凈室檢測(cè)要求潔凈度等級(jí)、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對(duì)靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中，對(duì)濕度的要求更為嚴(yán)格。因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。

電子廠房空氣潔凈度檢測(cè) 2、檢測(cè)點(diǎn)：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)，檢測(cè)凈化車間潔凈度時(shí)，檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)在距室內(nèi)地面水平面1.00m以內(nèi)；單向流式無(wú)塵凈化車間，測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于20個(gè)，測(cè)點(diǎn)間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測(cè)點(diǎn)僅無(wú)布置；非單向流式無(wú)塵凈化車間按無(wú)塵凈化車間面積小于等于50m2布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)。3、關(guān)于等速采樣：等速采樣是指在檢測(cè)過(guò)程中，粒子計(jì)數(shù)器的采樣管入口方向與被采樣單向氣流的方向一致，進(jìn)入采樣管入口的空氣平均流速與該位置單向氣流的平均速度。

電子廠房潔凈室空氣潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目：

　生物安全實(shí)驗(yàn)室：國(guó)制定了相關(guān)的安全規(guī)程，潔凈室檢測(cè)工程凈化設(shè)備采用生物安全隔離服和獨(dú)立供氧系統(tǒng)。廢液、廢氣統(tǒng)一凈化通過(guò)嚴(yán)密性試驗(yàn)之后處理，采用密閉隔離器、負(fù)壓二次屏障系統(tǒng)，保證人身安全，并制定良好的生物安全實(shí)驗(yàn)室凈化管理規(guī)定。  對(duì)于無(wú)塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時(shí)換氣5次以上;人均每小時(shí)新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時(shí)換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動(dòng)小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

電子廠房空氣潔凈度檢測(cè)  目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開(kāi)放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí)，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí)，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象，對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。

電子廠凈化工程不一樣級(jí)別氣體潔凈度等級(jí)的空氣過(guò)濾網(wǎng)的采用、布局關(guān)鍵點(diǎn)：針對(duì)300000級(jí)空氣過(guò)濾解決，可選用亞高效過(guò)濾器替代高效送風(fēng)口；氣體潔凈度等級(jí)100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣過(guò)濾解決，應(yīng)選用初、中、高效率三級(jí)過(guò)濾裝置；中效或高效率空氣過(guò)濾網(wǎng)宜按低于或相當(dāng)于額定值排風(fēng)量采用；中效空氣過(guò)濾網(wǎng)宜集中化設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整的正壓力段；高效率或亞高效率空氣過(guò)濾網(wǎng)宜設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整系統(tǒng)軟件的尾端。

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