HORIBA掘場IR-300氣體濃度監(jiān)測儀北崎供應(yīng)

HORIBA掘場IR-300氣體濃度監(jiān)測儀北崎供應(yīng)

• 實時監(jiān)測 響應(yīng)速度和可重復(fù)性，可跟蹤
  氣體濃度的變化
• 多條校準(zhǔn)曲線（可選）
  *多可安裝 3 種類型的測量氣體/滿量程濃度（= 校準(zhǔn)曲線）。
• 多顯示器功能 為了在現(xiàn)場查看
  濃度監(jiān)測和供應(yīng)線信息，它配備了一個多顯示器，該顯示器結(jié)合了主機頂部的多顯示器和模式 LED。
• 通信功能 支持
  DeviceNet 通信和數(shù)字/模擬信號對應(yīng)的通信方法
• 緊湊且簡單的設(shè)計 兩側(cè)之間的
  尺寸 124毫米 緊湊的設(shè)計，對安裝位置沒有限制。

 

IR-300 使用高亮度、長壽命的光源和更快的電信號處理來提高響應(yīng)速度和可重復(fù)性。 這使得在氣體濃度變化后進行連續(xù)在線監(jiān)測成為可能。
* 為了穩(wěn)定監(jiān)測，建議在測量前進行零點校準(zhǔn)（1 次/天或更多）。

MOCVD 材料測量示例

■ 測量流程

監(jiān)測進料濃度的變化 以下是通過使用
背壓調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)起泡器中的壓力來實時監(jiān)測進料濃度變化的示例。

 

氣體濃度監(jiān)測儀

用于鼓泡供應(yīng)管線的在線氣體濃度監(jiān)測器。 用于穩(wěn)定供應(yīng)材料氣體。

MOCVD（金屬有機氣相沉積）廣泛用于 LED 制造工藝和光學(xué)器件制造工藝。 MOCVD 系統(tǒng)使用液/固材料，通常通過鼓泡以汽化氣體的形式供應(yīng)到腔室中。 實時氣體濃度監(jiān)測對于在該材料氣體供應(yīng)管線中實現(xiàn)穩(wěn)定的沉積過程非常重要。 IR-300 系列氣體濃度監(jiān)測儀已安裝在 MOCVD 設(shè)備的物料氣體供應(yīng)管線上，可實現(xiàn)在線高速氣體濃度監(jiān)測。 它支持材料氣體的穩(wěn)定供應(yīng)。