日本原裝HORIBA堀場(chǎng)數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號(hào)，配備多量程/多氣體功能，允許用戶更改氣體類型和流量范圍。

實(shí)現(xiàn)了±1.0%SP的高精度、全量程1秒內(nèi)的高速響應(yīng)、5SCCM至500SLM的寬量程。通信方式可從數(shù)字/模擬、DeviceNet?、EtherCAT?通信中選擇。這是一款不僅適用于*工藝，也適用于各種制造工藝的質(zhì)量流量控制器。

HORIBA 為半導(dǎo)體制造工藝、研發(fā)、質(zhì)量控制以及從純水到廢水的公用事業(yè)中的干法、濕法和光刻工藝提供廣泛的產(chǎn)品。我們將根據(jù)多年經(jīng)驗(yàn)積累的分析、測(cè)量和控制技術(shù)提供解決方案。

數(shù)字質(zhì)量流量控制器　

它是適用于各種行業(yè)和應(yīng)用的通用型數(shù)字質(zhì)量流量控制器，具有從 10 SCCM 到 1000 SLM 的寬流量控制范圍，并且可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet?、CC-Link? 中選擇通信方式、PROFIBUS? 和 EtherCAT?。具有±1.0% SP的高精度，全量程1秒內(nèi)快速響應(yīng)，多量程/多氣體功能。　

業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別：流體控制